கோயில் வளாகம் 3.25 ஏக்கர் பரப்பளவு கொண்டது. சிறீ மகாதேவர் (சிவபெருமான்) ஒரு தனி கருவறைக்கு மேற்கே எதிர்கொள்கிறார். கோயில் வளாகம் மிகப் பெரியது. மேலும், இதை தேசிய நினைவுச்சின்னமாக இந்திய தொல்பொருள் ஆய்வு நிறுவனம் பாதுகாக்கிறதுபாதுகாத்து வருகிறது. சதுர வடிவத்தில் கூட்டு சுவர் கொண்ட கோயில். அவித்ததூர் மகாதேவர் கோயில் அதன் சொந்த அழகின் ஒரு வர்க்கமாகும். கோவில் கருவறைக்கு செப்பு ஓடுள்ள இரட்டை மாடி வட்ட வடிவத்தில் உள்ளது. அம்பலவட்ட (நாலம்பலம்) கம்பீரமான வடிவத்தில் உள்ளது. மேற்கு திசையில் விரிவான நடபுரா (அனகோட்டில்) அதன் ஆதரவாக பெரிய தூண்களைக் கொண்டுள்ளது, அதே நேரத்தில் உள் நுழைவாயிலுக்கு அருகிலுள்ள வாலியா-பாலிக்கல் கருவறைக்கு நேரடியான பார்வையை மறைக்க போதுமானதாக உள்ளது. "மகா க்ஷேத்ரா" இன் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தினசரி பூஜைகள் செய்கின்றன<ref>{{cite web|url=https://shaivam.org/temples-of-lord-shiva/avittathur-mahadeva-temple-history|title=Avittathur - Mahadeva Temple History|website=www.shaivam.org}}</ref>.
